高纯水又名超纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最普遍的还是电子行业。
    在镀件漂洗时也需用电导率在10uS/cm以下电镀纯水来清洗，电镀行业用水处理系统包括电镀前电镀液配制用纯水系统、电镀漂洗废水中稀有金属回收漂洗水循环利用电镀废水处理零排放系统。通常系统由预处理，超滤，反渗透(RO)，离子交换，EDI设备等组成，以满足电镀行业对各种水质的要求。
电镀工业用超纯水设备一般采用高效反渗透加EDI方式工艺制取电镀用纯水，其流程如下：
原水→加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点。
电镀工业用超纯水设备应用领域：
1、电镀(镀金、镀银、镀络、塑料电镀、镀铬、镀锌)等用纯水、玻璃镀膜用电镀超纯水
2、超声波清洗、超音波清洗用纯水、化学镀、电泳用纯水或超纯水
3、汽车、家电、建材产品表面涂装、清洗纯水或超纯水
4、其它要求的表面处理用纯水或超纯水
传统的电镀液配制用水采用的都是离子交换树脂进行制取，而树脂通常需要经常再生，耗费人力和物力，而采用低压反渗透加EDI技术，运行成本较低，且运行稳定，是一种安全可靠的工业用高纯水制取工艺。