臭氧是水处理中最有效的杀菌剂之一，只有游离氯才能和臭氧的杀菌能力相比。用臭氧消毒的优点是其杀菌 效率高，即使对于如病毒和囊孢等抵抗性强的微生物， 它也是迄今最为有效的消毒剂。它可以减少给水的嗅、味 和色度，并且在分解时它唯一剩余物质是溶解氧。另外，臭氧的杀菌能力不受 PH 值变化和氨的影响。

用臭氧消毒也有不利的一面， 因为必须用电产生臭氧， 并且不能储备，在遇到水质和水量变化时，对臭氧的 需用量难于及时调整。经验证明臭氧最适用于用水量低而用水量稳定的水厂；此外臭氧虽强氧化剂，但其氧化能 力是有选择性的，并不是普遍产生氧化作用，像乙醇这种容易被氧化的物质却不容易和臭氧作用。